Scalar diffraction and vector diffraction using Fourier analysis. Yasuhiro Takaki. Tokyo University of Agriculture & Technology. Faculty of Technology

Samankaltaiset tiedostot
Ó Ó Ó

Visuaalinen ilme (luonnos)

JULKISEN HALLINNON DIGITAALISEN TURVALLISUUDEN JOHTORYHMÄN SIHTEERISTÖN (VAHTI-sihteeristö) JA ASIANTUNTIJAJAOSTON ASETTAMINEN

Samassa yhteydessä Rauno Haapala kertoi omista kauranviljelykokemuksista. Rauno Haapalan tila

WESTENERGY OY AB MUSTASAAREN JÄTTEENPOLTTOLAITOKSEN KATTILATUHKA JA SAVUKAASUNPUHDISTUSJÄTE

FED G F H?> FCQ FCQ I EO ba` _^] 86 2 mlk * % $,, * Oheisessa kuvassa on eritelty dokumentin sisältö, koodaus, rakenne ja ulkoasu I HG CB LG KJ I H

1 (1) Lupatunnus: ML2017:0035 KUULUTUS. Turvallisuus- ja kemikaalivirasto (Tukes) kuuluttaa kaivoslain ( /621) 40 :n nojalla

À Ö Ö Ð Ù Ø ÅÖ Ø ÐÑ ÙÒ Ø Ó : Æ Æ Ñ (Ò) = O(ÐÓ Ò) ÓÒ Ø Ð ÓÒ ØÖÙÓ ØÙÚ Ó ÐÐ Ò Ò ÙÒ Ø Ó Ó ÙÚ Ñ Ö ÓÒÓÒ ½ Ò (Ò) Ò ÒÖ ØÝ ÐÐ ÓÒ Ð ØØ Ú Ø Ð O( (Ò))º Ä Ù Å Ø Ø

Tietosuojaseloste / Hellewin opiskelija- ja henkilöstörekisteri

p q = (x 1 x 2 ) 2 + (y 1 y 2 ) 2 + (z 1 z 2 ) 2. x 1 y 1 z 1 x 2 y 2 z 2

Markkinointi on kuollut. Markkinoijan on seurattava perässä.

Free style -liikesarjakilpailun ohjeistus Tatu Iivanainen

M Pv + q = 0, M = EIκ = EIv, (EIv ) + Pv = q. v(x) = Asin kx + B cos kx + Cx + D + v p. P kr = π2 EI L n

el. konsentraatio p puolella : n p = N c e (E cp E F ) el. konsentraatio n puolella : n n = N c e (E cn E F ) n n n p = e (Ecp Ecn) V 0 = kt q ln (

ÈÖÓ Ð Ø Ø ÌÙÖ Ò Ò ÓÒ Ø ÅÖ Ø ÐÑ ÈÖÓ Ð Ø Ò Ò ÌÙÖ Ò Ò ÓÒ Å ÓÒ ÖÒÐ Ò Ò Ô Ø ÖÑ Ò Ø Ò Ò ÌÙÖ Ò Ò ÓÒ Ó Ô Ø ÖÑ Ò Ø Ø ÐØ ÙØ ÙØ Ò ÓÐ ÓÒ ØØÓ ¹ Ð º ÂÓ Ò Å Ò Ö Ò Ý

edellyttää valintaa takaisinpanolla Aritmeettinen keskiarvo Jos, ½ Ò muodostavat satunnaisotoksen :n jakaumasta niin Otosvarianssi Ë ¾

Koska ovat negatiiviset. Keskihajontoja ei pystytä laskemaan mutta pätee ¾.

Kuvan piirto. Pelaaja. Maailman päivitys. Syötteen käsittely

Ì Ð Ú Ø ÚÙÙ ÐÙÓ Ø Á ÅÖ Ø ÐÑ ÇÐ ÓÓÒ : Æ Ê ÙÒ Ø Óº Ì Ð Ú Ø ÚÙÙ ÐÙÓ Ø ËÈ ( (Ò)) ÆËÈ ( (Ò)) ÑÖ Ø ÐÐÒ ÙÖ Ú Ø ËÈ ( (Ò)) ÓÒ Ò Ò ÐØ Ò Ä ÓÙ Ó ÓØ ÚÓ Ò ØÙÒÒ Ø Ø

E d f = 1 ε 0. E d r = t A. E d f

1 0/.-,+ 1 Johdanto Problem-solving Realization Conceptualisation Solution Problem Analysis Design Implement. Validation Deployment Req. Development C

J fihu. oitus, :?'! Matemaattinen Analyysi. D:at-btp+ctp', R2 Ti. tç16. dpldt : a(q" - q) + þ(p" - p) (1) pt(t) ' viikko 47.

Onnittelut loistavasta SAWO kiuasvalinnastanne! Tutustu käyttöohjeisiin huolellisesti ennen käyttöönottoa.

Ð ØÖÓÒ Ò Ú Ø Ò Ô ÓÒ Ö Ø Ð ØÖÓÒ Ò Ò Ú Ð ÙÒ ÝÐ ÓÔ ØÓ ÖÑ Ò ØÙØ ÑÙ ¹ Ð ØÓ ½ ¼¹ÐÙÚÙÐÐ Ù Ø Ó ÐÙ Ð ØÖÓÒ Ô Ð ºËº ÓÙ Ð Ø ½ ¾ Ñ Ö Ú Ø Ö Ò Ñ Ò ÓÒ Ò ÚÙÓÖÓÚ ÙØÙ Ø

CD-SOITIN FM-HERÄTYSKELLOLLA JA PLL-RADIOLLA SEKÄ BLUETOOTH-TOIMINNOLLA

ÍÐ ÓØ ÐÓ Ò Ô ÖØÓ ÃÙÒ Ô ÖÖ ØÒ Ð Ó ÙÐ ÓÒ ÝÑ ÓÒ Ò ØØ Ú Ñ ÐÐ Ñ ØÓ Ø ØÝÝÔ ÐÐ Ø Ú Ò Ð Ò ÙÙÖ ÓÚ ÐØÙ Ò Ö Ð Ò Ô ÖØÑ Ò Ñº Ó Ñ ÐÐ ÒÒ Ø Ò ½¼ Ü ½¼ Ñ ÐÙ ½¼ Ñ Ø Ö Ù

Å Ø Ñ ØØ ¹ÙÓÒÒÓÒØ Ø Ò Ò Ì Ö ØØ Ö ÙØ ÓÖ Á Å Ö Ò Ò ÌÝ Ò Ò Ñ Ö Ø Ø Ø Ø Ì Ø Ì ØÓ Ò ØØ ÝØ Ø Ò ØÓ Ò ËÖ ÔØ ¹Ô Ó Ñ ÇÔÔ Ò ÄÖÓÑÒ ËÙ Ø Ì ØÓ Ò ØØ ÝØ ÌÝ Ò Ö Ø Ø ÖØ

Onnittelut loistavasta SAWO kiuasvalinnastanne! Tutustu käyttöohjeisiin huolellisesti ennen käyttöönottoa.

T 2. f T (x)e i2π k T x dx. c k e i2π k T x = x dx. c k e i2π k T x = k Z. f T (x) =

f(x 1,x 2 ) = f 1 (x 1 )f 2 (x 2 ) x 2 f(x 1,x 2,...,x n ) = f 1 (x 1 )f 2 (x 2 ) f n (x n ) f 1 (x 1 ) = 1 6, ÙÒ x 1 S 1 f 2 (x 2 ) = = 2 x 2

Kera osayleiskaava, luonnos

Ë Ò Ö Û Ã Ò ½½ ¼¾ ÇÒ Ö Ä ÓØ ¼ ¼ ¼ ÔÖ Ð ¾¼¼¼

NAANTALIN KAUPUNKI Myytävä lomarakennuspaikka Pakinaisten saaressa

ää*r: rfrtlqäe'räs rr[; äsüä FäF r."f F'*üe ;=v* tr, $rr;gt :r1 älfese li ä; äepö* l4:e x1;'.äö l--g! li r: ; ;;*; ssü ntirs E,pä ;;qi?

Mäkkylän Puustellinmäen kylätontin arkeologiset kaivaukset 2015 TUTKIMUSRAPORTTI


E.M.S. filosofia Väli 1. Syväkaivopumput, DX Väli 2. Upotettavat avokaivopumput, UPI Väli 3. JET-pumput Väli 4. Keskipakopumput Väli 5

ÓÑ ØÖ Ò Ø Ò Ø ØÓÖ ÒØ Ø Ã ÙÖ Ú Ø ÐØÚØ Ø ØÓÖ ÒØ Ø Ô ÖÙ ØÙÚ Ø Ñ ÒØÝÝÔ¹ Ô Ò Ò ÖÓØ ÐÐ Ò Ú ÖÙÙ Ø Ó Ó Ò ÐÐ ÓÒ Ô Ò ÑÔ Ó Ò Ò ÐÐ Ú Ð Ô Ò ÑÔ Ó Ò º ÒÑ Ö Ø ØÒ Ö Ö

ENGLISH SCANDIA SÄHKÖKIUAS ELECTRIC SAUNA HEATER

Onnittelut loistavasta SAWO kiuasvalinnastanne! Tutustu käyttöohjeisiin huolellisesti ennen käyttöönottoa.

SAVONIA SAV-90NB SÄHKÖKIUAS ELECTRIC SAUNA HEATER

d 00 = 0, d i0 = i, 1 i m, d 0j

7 4 7 G? C % "$! "# Internet on osa maailmanlaajuista sähköisen viestinnän (muita infrastruktuurin osia ovat televerkot sekä TV- ja radio

SAVONIA SUPER SAVONIA V12 SÄHKÖKIUAS ELECTRIC SAUNA HEATER

JÄRVI-POHJANMAAN KESÄ 2015 TAPAHTUMIA


MN-23NB MN-30NB MN-36NB MN-23NS MN-30NS MN-36NS

f(x) =, x = 0,1,...,100. P(T 20) = P( X 50 20) 0.

(a,b)(c,d) = (ac bd,ad + bc).

È Ú Ö Ù ÆÈ ÁÁ Ë ÑÓ Ò Ó Ò Ý ÝÑÝ ÚÙØ ØØ Ò ØÝ Ø ÙÒ ËØ Ô Ò ÓÓ Ä ÓÒ Ä Ú Ò ØØ Ð ÚØ ÆÈ¹ØÝ ÐÐ ÝÝ Ò ØØ Òº µ º Ù Ø ÙÙØ ¾¼¼ ¾»

x (t) = f(x(t)) u B δ (p) = ϕ t (v) = p, v B d (p) = lim e t AT e t A dt W =

Stallings, Luku 7. Kuva 7.5. Kuva 7.6. KJ-I I S2004 / Tiina Niklander; kalvot Auvo Häkkinen 6-1

À ÄËÁÆ ÁÆ ÄÁÇÈÁËÌÇ À ÄËÁÆ ÇÊË ÍÆÁÎ ÊËÁÌ Ì ÍÆÁÎ ÊËÁÌ Ç À ÄËÁÆÃÁ Ì ÙÒØ»Ç ØÓ ÙÐØ Ø»Ë Ø ÓÒ ÙÐØÝ Ä ØÓ ÁÒ Ø ØÙØ ÓÒ Ô ÖØÑ ÒØ Å Ø Ñ ØØ ¹ÐÙÓÒÒÓÒØ Ø ÐÐ Ò Ò Ì Ö

Jos nyt on saatu havaintoarvot Ü ½ Ü Ò niin suurimman uskottavuuden

C y. r 0 -r. projisoitava piste p projektiokeskus c kuvapiste r kuvatason normaali n koordinaattiakselit x, y

KJR-C2001 KIINTEÄN AINEEN MEKANIIKAN PERUSTEET, KEVÄT 2018

MINI X SÄHKÖKIUAS ELECTRIC SAUNA HEATER

Otosavaruus ja todennäköisyys Otosavaruus Ë on joukko, jonka alkiot ovat kokeen tulokset Tapahtuma on otosavaruuden osajoukko

ja siis myös n= nk ( ). Tällöin dk l l

Ë ÐØ ½ ÂÓ ÒØÓ ½ ¾ Ç ÐÑ ØÓ Ò ÑÓ ÙÐ Ö Ó ÒØ ½ ÄÔ Ð Ú Ø ÓÑ Ò ÙÙ Ø Ô Ø Ó ÐÑÓ ÒØ Ô ØÂ º½ Ä ØÓ Ó Ø Ð ØÓ Ó Ø ÑÖ ØØ ÐÝØ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º¾

Ì ÅÈ Ê Æ ÄÁÇÈÁËÌÇ Å Ø Ñ Ø Ò Ø Ð ØÓØ Ø Ò Ð ØÓ ÎÁÁÃÁÆÃÇËÃÁ Å ÌÌÁ ÂÖ ØÝ ÙÒ Ø ÓÐÐ Ø Ó ÓÒ ÐÙ Ø Ú ÐÙ Ø ÓØ Ä Ò ØØ ØÝ º Å Ø Ñ Ø À ÐÑ ÙÙ ¾¼¼ ÃÓÓ Ù Ø ÓÖ Ò Ø ÚÓ

F n (a) = 1 n {i : 1 i n, x i a}, P n (a,b) = F n (b) F n (a). P n (a,b) = 1 n {i : 1 i n, a < x i b}.

0 ex x = e 1. x + 3a 2x a = 2a xº. 1 3 (uvy) 3 (uxy) 3 (wxy) uvwxy (uvw) 1 3 (vwx)

Kaartin jääkärirykmentti Päätös 1 (4) Esikunta HELSINKI MN

Ä ÒÒ Ò Ú Ø ÚÙ٠̺ à ÖÚ º º¾¼¼ ̺ à ÖÚ µ Ä ÒÒ Ò Ú Ø ÚÙÙ º º¾¼¼ ½»

ÂÙÐ Ò Ú Ñ Ò Ò Ö ØÖÙ ØÙÙÖ Ø ÇÒ ØÖ Ý Ø ØÓÑ Ò ÙÐ Ò Ò Ú Ò Ò ØÓ ÐÐ Ò Ò ÐØ ÐÙÓØ ØØ Ú Ø ØÓ Ò º ÃÓ Ò Ð Ö ÓÒ ½ Ò ÑÑ Ò ÓØØ ÒÙØ Ú ÖÑ ÒØ Ø Ó ÓÒ ÙÐ Ò Ò Ú Ò Ò ÐØ Ð

º F(+, + ) = 1 F(, ) = F(, y) = F(x, ) = 0 й

Ë ÐØ ½ ÂÓ ÒØÓ ½ ¾ Ç Å ÓÐ ÓØ ØÓ ÒØ Ø Ò Ö ¾ ¾º½ ÇÅ ÓÐ ÓÑ ÐÐ Ç Ä ÓÐ ÓÒÑÖ ØÝ Ð º º º º º º º º º º º º º º º ¾ ¾º¾ ÇÉÄ ÓÐ Ó Ý ÐÝ Ð º º º º º º º º º º º º

TIQ FINNISH / SUOMI

ÁÒ Ù Ø Ú Ø ØÝÝÔ Ø º Ñ Ö ÒÖ ÔÙÙÒ ÑÖ Ø ÐÑ Ú ØØ Ø Ò ÒÖ ÔÙÙ ÓÒ Ó Ó ØÝ Ø ÓÐÑÙ Ó ÓÒ Ð Ó ÓÒ Ú Ò Ó Ð ÔÙÙ ÓÚ Ø ÑÝ ÒÖ ÔÙ Ø º Ë ÚÓ Ò Ö Ó ØØ ÙÓÖ Ò Ø Ò ÖÝÌÖ ÑÔØÝ Æ

Ä ÒÒ Ò Ú Ø ÚÙ٠̺ à ÖÚ ¾º º¾¼¼ ̺ à ÖÚ µ Ä ÒÒ Ò Ú Ø ÚÙÙ ¾º º¾¼¼ ½»

MN-23NB MN-30NB MN-36NB MN-23NS MN-30NS MN-36NS

"h 'ffi: ,t^-? ùf 'J. x*r:l-1. ri ri L2-14. a)5-x:8-7x b) 3(2x+ l) :6x+ 1 c) +* +5 * I : 0. Talousmatematiikan perusteet, onus to o.

Symmetriatasot. y x. Lämmittimet

T I I V I S T E L M Ä L A T I N A N R A K E N T E E S T A

1, x 0; 0, x < 0. ε(x) = p i ε(x i).

Ì Ú Ø Ñ Ò Ó ÔÓÒ ÒØØ Ò Ô Ö Ò Ø ¹ Ú ÖÙÙ Ñ Ò ÓÚ Ù Ó Ó ÙÓ ÙÙ ¹ Ò ØÓÓÒº Ì ØÓØ Ø Ò ÔÖÓ Ö Ù ¹ØÙØ Ñ ÂÝÚ ÝÒ Ý ÓÔ ØÓ ½º Ó ÙÙØ ¾¼¼ º Ë ÚÙ ½ Ø º Ì ¹ Ú ÖÙÙ Ñ Ò Ý Ó

x 1 x 2 x n u 1 + v 1 u 2 + v 2 u n + v n λu 1 λu 2 λu n

Ö Ñ Ø ÔÐÙ Ö ÑÑ ôò Ð Ö ôò ËÙ Ø Ñ ØÛÒ Ñ Ô Ò Ð ÔØ Å ÓÙ Å Ö Éº Ð Ò ÐÐ Á ÃÌÇÊÁÃÀ Á ÌÊÁ À Á ÌÅÀÅ ÌÁÃÇ Å Ì ÈÌÍÉÁ ÃÇ ÈÊÇ Ê ÅÅ ÌÅÀÅ Ì Å ÂÀÅ ÌÁÃÏÆ à Á ÊÅÇËÅ ÆÏÆ


P F [L θ U] P F [L θ U] 1 α, 0 < α < 1,

ÂÓ ÒØÓ ½ Ì ØÓ Ò ØØ ÐÝØ ÓÖ Ø ÒÒÓ ØÙÒ ÐÐ ÙÖ ØØ Ð Ö Ð Ø Ð ÒØ Ñ ÐÐ º ØÝ Ó Ø ÚÙÙØ Ø Òºµ Ç ÐÑÓ ÒÒ Ø ÒÒÓ ØÙÒ ÐÐ ØØ Ð Ö Ð Ø Ó ÐÑÓ ÒØ ¹ Ó ÐÑ Ò ÙÙÒÒ ØØ ÐÙØ Ô º

{(x, y) x {1,2,3,... }, y {2,4,6,...,10}, x < y}.

ËÚÝØÝ Ò µ ÓÒ Ñ Ò ÔÑÖ Ò Ò Ø ÖÑ ÓÒ ÝØØ Ø ØÓ ÓÒ Ö ÓÒ ÐÓ ØÓÒÒÙØ Ñ Ð Ó Ù Ò Ò Ð ÙÔ Ö Ø Ñ Ö ØÝ Ø Ã ØØ ÐÐ Ø Ö Ó Ø Ø Ò ÒÝ ÝÒ Ø Ò Ó Ø Ó ÐÐ Ð Ø Ò ÚÖ Ú Ð ØÙ Ø ÔÔ

Ì ÑÔ Ö Ò ÝÐ ÓÔ ØÓ Å Ø Ñ Ø Ò Ø Ð ØÓØ Ø Ò Ð ØÓ ÆÁ Å Ä ÊÇ ÓÙÖ Ö¹ÑÙÙÒÒÓ Ø ÈÖÓ Ö Ù ¹ØÙØ ÐÑ º Å Ø Ñ Ø ÀÙ Ø ÙÙ ¾¼¼ Ì Ú Ø ÐÑ ÌÙØ ÐÑ Ò Ò ÓÒ ÓÙÖ Ö¹ÑÙÙÒÒÓ Ò ØØ Ð

on ØØÔ»» ÙÖ¹Û ºÓÖ Trends in Information Processing, Dombai, Russian Federation, May 16 20, 2017, published at

MSE(ˆθ) = Var(ˆθ)+[E(ˆθ) θ] 2,

SUOMI / ENGLISH NORDEX TRENDLINE SÄHKÖKIUAS ELECTRIC SAUNA HEATER

Jos nollahypoteesi pitää paikkansa on F-testisuuren jakautunut Fisherin F-jakauman mukaan

Ë Ø ÐÓ Ò Ô ÖØÓ Á ÔÖÓ Ó ÒØ ÃÙÒ Ð ÙØ Ò ÓÒ Ò Ö ÒÒÙ Ò ÐÐ ÓÒ ÝÐ Ò ÖÖ ÐÐ Ò Ú Ò Ô Ò Ó Ö ÒÒÙ Ò Ø ÐÓ Ø Ò ÝÚ Ñ ÐÐ ÓÒ Ù Ø ÐÐ Ò ÙÙÖ ÑÖ Ò Ø Ø ÓÐÙ Ö µ Ã ÙÐÓØØ Ò Ò Ñ

A B P(A B) = P(A B) P(K) = 4 ( 52 5) =

ÃÙ ÖÓ ÚÙ ÓÔ Ø ØºÒ Ø ½ Ì ÓØ Ò Ù Ú Ö ÚÓÒ Ð Þ Ò Ð Ò ÚÙÒ¹ ÒÙ ¾ ÇÐ ÑÑÓ Ö ÒÒÝ ØÙ Ù ÖÙ ÓÔ ØÙÒ ÙÑ Ø Ö Ù ÐÙ Ý Ø Ò Ú Ö ÚÓÒ Ð Þ Ò Ð Ò Ö Ð Ò Ò Ò Ò ØÙÚ º Ê Ó Ø ØØÙ

À ÄËÁÆ ÁÆ ÄÁÇÈÁËÌÇ À ÄËÁÆ ÇÊË ÍÆÁÎ ÊËÁÌ Ì ÍÆÁÎ ÊËÁÌ Ç À ÄËÁÆÃÁ Ì ÙÒØ»Ç ØÓ ÙÐØ Ø»Ë Ø ÓÒ ÙÐØÝ Ä ØÓ ÁÒ Ø ØÙØ ÓÒ Ô ÖØÑ ÒØ Å Ø Ñ ØØ ¹ÐÙÓÒÒÓÒØ Ø ÐÐ Ò Ò Ì Ö

f(x;n,θ) = θ x (1 θ) n x, x = 0,1,...,n; 0 θ 1. Θ = {θ 0 θ 1}. ˆθ = x n.

Määrittelydokumentti NJC2. Helsinki Ohjelmistotuotantoprojekti HELSINGIN YLIOPISTO Tietojenkäsittelytieteen laitos

ENGLISH SCANDIA SÄHKÖKIUAS ELECTRIC SAUNA HEATER


Määrittelydokumentti NJC2. Helsinki Ohjelmistotuotantoprojekti HELSINGIN YLIOPISTO Tietojenkäsittelytieteen laitos

ÄÙ ÙØ ÓÖ Ë Ô Ö ÒØ ÐÐ Ò ÝÑÑ ØÖ Ò Ð Ù Ò ØØ ÙÐ Ò Ú Ñ Ò Ð Ù Ò Ý Ø Ý Ø ÖÚ Ø Ò Ø ØÓ ÑÓ ÙÐÓ Ö ØÑ Ø Ø Ö ÐÐ Ø ÙÒÒ Ø º Ì ÐÙÚÙ ÐÙÓ Ò Ø Ù Ò Ò ÐÙ Ò ØÖ ÑÔ Ò ØØ Òº Ø

Referenced. Object. StateSet. Node. Geode

Transkriptio:

Scalar diffraction and vector diffraction using Fourier analysis Yasuhiro Takaki Faculty of Technology

Maxwell RCWA

: F F I G G ; Maxwell! " # $ % & ' ( ) * +, -. / 0. 1 ' 2 3 $ 4 5 6 7 8 9, : ; < = > 2? @ 4 A B C %! D E < A B C -. / 0. * 2 J, K C < L C M N % P # B Q, x,y,zh Helmholtz O H I R ) " ( ) g(x,y,z) *

S T R U _ b ` _ a s r / u t Helmholtz z * R U g(x, y; z) " V W X D Y G(νx, νy; z) " Z C 4 # 9 [ \ νx νy & ' ] R ) Helmholtz _ ` 2 P ^ _ a ` a ced c fhg k l $ % % G(νx, νy; 0) z=0 * vxwzy {}w~ g(x, y; 0) V W X D Y npo q m ƒx }ˆŠ Œ Ž x } Š c iej

O à / å Ã Þ / / / / œ Helmholtz º»h¼ ½ ¾»  ¼ ½ ¾ À Á» À Á x á â Þ ß 2 & ' ] R ) " Ä Å Æ ) Ç U R È É Ê Ë Q y νx νy š š & ' ] R ) " Ä Å Ç U R 2 3 $ 4 l Í Î C 4 Ï Ð * % νx Ñ νy xì yì θx θy Ò / Ó Ô Õ, G(νx, νy; 0) Ç U R Ö S Ø Ù Ú Ù Û ÜzÝŠÙ á ã Þ à á Ö ä Ê æhç æ è é æ êhë Ö ä Ø ì í î ï ð Ï ñ ò ó ô õ Ø ö î ï ð ø ò ù ú û ü ý þ ÿ pž Ÿ ª «x } Š Œ ± x z } ò ó ô õ ² ³x µ} Š ¹

6 +, -. & /! " # $ % & ' $ ( ) * # +, -. / / " $ 0 1 2 " # / $ 3 $ " * 4 1 5 # / ' 5 / 8. 9 : g(x, y; 0) 6 7 G(νx, νy; 0) $ ; ) * / 8. 9 : E & ' 3 $ ) * 8 F < = > =? @ D >? @ A B 8 - G H. 8 I / J = ACB

L S K M L M š š S T r q p o l k n m T ON P Q R ï U õ V ó W X ð Y ä ó Z ä P x, y, z[ \ ] ^ _ ` ò ó e f a U õ dn _ ` g h. j TE(Transverse Electric) i X œ Y ž Ÿ θ y[ \ P sutwv TM(Transverse Magnetic) i X œ Z ž Ÿ θ. j y[ \ P TM V ó a ï b ô c xzy TE TE,TM ª «± ² ˆ Š Œ Ž sut~ xzy {w} ƒt~

ô õ å Ø å ú Ý æ å Þ é À ü ø ¾ ½ ê º ¹ ¼» Ö Õ Rigorous Coupled-Wave Analysis (RCWA) ³ µ TE(Transverse Electric) ç Ú è é ê ú û ü ö ø ë ì ù ßáàãâ ý þ ÿ ² Ù Ú Û Ü Λ: ë ì í εh: î ï ð ñ ò ó Si: i ó ÁuÂwà TM TE ä ä ä ü ó coupling ü î ï ð ñ ò ó εi ó Si ÿ εi-p ÄzÅ Ñ Ò ÁuÂÈ É Ë ÌˆÍŠÎŒÏŽÐ ÄzÅ ÆwÇ Ó Ô ÊƒÂÈ É

# " "! $ % $ 3 4 KxKx E $ $ & ' ( ² qm ± wm ² wi,m ) * *,+ -. / 0 ± 1 2

$ Y 5 6 6 5 2 KKK KKK O 2 TMç Ú è TEç Ú è 7 8 9 : ;=< < >@?@A@BDCFE G HIIIIIIIIIJ $ S 0 T U V W Ø S U X 7 Z [ \ [ ² Û Ú 2 ] LNM PQQQQQQQQQ R U 9 LAPACK (CLAPACK): http://www.netlib.org, http://www.phase.etl.go.jp/netlib The Netlib repository contains freely available software, documents, and databases of interest to the numerical, scientific computing, and other communities. The repository is maintained by AT&T Bell Laboratories, the University of Tennessee and Oak Ridge National Laboratory, and by colleagues world-wide. The collection is replicated at several sites around the world, automatically synchronized, to provide reliable and network efficient service to the global community.

` a i g e» ¾ ¼½ f ¹ t Ó Ô t TMç o è TEç o è ë ì g h h ^ _ i j k l m l n b c d À ¼ º» 0.50 y{z} ~ 0.45 0.40 0.35 0.30 0.25 0.20 0.15 TM TE TM TE p qrrrrrrrrrs ƒ z} ~, ƒˆš {Œ} Ž Š ƒ Œ} Ž, Š ƒ Š { } š Šœƒ ž }Ÿ š œƒ Š { } Š ƒ ª }«ƒ Š 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20,± ² ³ µ ÁÃÂÅÄ ÏÅÐ Æ,Ç È,É ÊÌË Í,Î ÑÅÒ +3 +1 0-1 -3 uwvvvvvvvvv x

ú Ø ü ú Ø ü øù 0.45 0.40 0.35 0.30 0.25 0.20 0.15 0.10 0.05 1ý 3ý Õ Ö Ø Ù Ú Û Ü 0 0 1 2 3 4 5 6 á â ã ä å æ ç è éëê@ìîí ïãð ïòñôóöõ (a) TMû øù 0.45 0.40 0.35 0.30 0.25 0.20 0.15 0.10 0.05 1ý 3ý á â ã ä å æ ç (b) TEû Õ Ö Ø Ù Ú Û Ü 0 0 1 2 3 4 5 6 þ ÿ Ý Þ ß à

. 1 /0. 1 /0,,. 1 /0, 3 /2 -. 1.0 0.8 0.6 0.4 0.2 0 TM TE <>=@?+ACBED"F+G "!$# %'&)(+* #"; 46587 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 (a) 9+: HJI KJL m = 2 : 0.389 3 /2 -. 1.0 0.8 0.6 0.4 0.2 0 TE TM WJX <>=@?+ACBED"F+G "!$# %'&)(+* #"; 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 (c) 9+: YJZ T6U8V m = 8 : 0.912 3 /2 -. 1.0 0.8 0.6 0.4 0.2 0 TM TE PJQ RJS <>=@?+ACBED"F+G "!$# %'&)(+* #"; 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 (b) 9+: M6N8O m = 4 : 0.778 m

wx rs Š { f g z y uv t oqp [rad] 7 6 5 4 3 2 1 ~} J ƒ TE TM 0 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 h i j h k l m n F [ \ ] ^ _ ` J ˆ a b c d e Œ Ž

š œ ž œ Ÿ Ž ² Ž ³ µ ½ ¾ª «± ¹ º» ¼ À ¼ Á

È Ì ÊË É Â Ã Ç Í Î Ï Ð Ñ Ò Ó Ô Õ Ö Ï Ø Ù Ú Û Ü Normal incidence Ä Å Æ Normal incidence Positive grating Negative grating (Si, λ = 0.6199 µm)

È É 1 1 0.5 0.8 Img 0 amplitude 0.6 0.4-0.5 0.2-1 -1-0.5 0 0.5 1 Ý Þ ß p = 0.1 λ fill factor = 0à 1 Rel 0-3 -2-1 0 1 2 3 phase Positive grating Negative grating

á â ã ä å æ ç è é ê ë ì í á î ï ð î ñ ò ó ô õ ö ë ø ù ú û ü ð ý þ ö ÿ á â ã ä ú ã ä λ λ 1 1 2 +, ú -. / 0 1 2! " # $ 2, ú -. / 1 % & ' ( ) *

9: p = λ0/4 p = λ0/8 1.00 ; 0.98 0.96 p = λ0/6 p = λ0/2 0.94 0.92 3 4 5 6 7 8 0.90 400 450 500 5 6 550 600 650 700 [nm] λ0 = 550 nm d = 0.5 λ0

@ @ < = > <? <? @ >? A = B C D B B