VPM-5 SmartPirani Pirani tyhjiöanturi

Transkriptio

1 SmartPirani Pirani tyhjiöanturi mbar / 7, Torr Ultraleveän alueen pirani-/pietsoanturi Edut Ultraleveä 9 dekadin mittausalue Kehittynyt digitaalinen signaalinkäsittely tarjoaa vertaansa vailla olevaa hinta-tehosuhdetta Helppo ohjelmoida S4-Connect -USBohjelmointilaitteella Ohjelmoitava 0 0 V DC lähtöjännite Digitaalinen RS232- tai RS485- liitäntä StableZero virhekompensointi Valinnainen puolijohderele prosessin ohjaukseen Käyttökohteet Massaspektrometrit Skannauselektronimikroskoopit Lämpökäsittely uunissa Lasin, optiikan, työkalujen jne. PVDpinnoitus Kylmälaitteiden huolto ja valmistus Puolijohteiden käsittely SmartPirani -anturi perustuu patenttia odottavaan tekniikkaan, joka tarjoaa luokkansa parasta suorituskykyä ja luo uuden mittapuun muille antureille laajentamalla tyhjiömittareiden mittausaluetta 3 dekadin verran. SmartPirani käyttää uutta mikroelektromekaanista MEMS-anturitekniikkaa yhdistettynä tarkkaan digitaaliseen signaalinkäsittelyarkkitehtuuriin ja kehittyneisiin mittausalgoritmeihin. Nämä ominaisuudet löydät vain Sens4-anturista. Tarkkuusautomatisoitujen valmistusja kalibrointiprosessien avulla varmistetaan tuotteen tinkimätön mittausteho. Lämmönjohtavuutta mittaaville laitteille tavanomainen riippuvuus kaasusta on eliminoitu integroimalla MEMS-kalvoanturi, joka tarjoaa kalliimpia kapasitanssimittareita vastaavaa suorituskykyä. Tämän ominaisuuden avulla tyhjiöjärjestelmän tuuletusprosessia voidaan ohjata tarkemmin ja estää ylipaineistuminen.

2 Ohjelmoitavat asetukset ja parametrit Anturin asetukset ja parametrit voidaan ohjelmoida tietokoneella tai älypuhelimella innovatiivisen digitaalisen S4-Connect -liitännän välityksellä. RS232- tai RS485-sarjaliitännällä varustetut anturit voidaan määrittää joko sarjaliitännän tai S4-Connect -liitännän kautta. Digitaalinen liitäntä mahdollistaa diagnostiikan, ennakoivan huollon, kalibroinnin, raja-arvojen määrityksen, analogisen lähdön skaalauksen ja reaaliaikaisten mittausarvojen välityksen. S4-Connect -USB-ohjelmointilaite ja ilmainen, helppokäyttöinen määritysohjelmisto on kytke-ja-käytä ratkaisu anturin ohjelmointiin, reaaliaikaisten mittausarvojen tarkasteluun ja diagnostiikkaan. StableZero -virhekompensointi SmartPirani -anturi käyttää innovatiivista aktiivista lämpötilakompensaatiota ja kalibrointia, jonka tarjoaa erittäin vakaan nollapisteen. StableZero -teknologia mahdollistaa laajan dynaamisen alueen ja poistaa vanhoista pirani- ja konvektioantureista tutun tarpeen nollata anturi nollapisteen muuttumisesta johtuen. Aktiivinen StableZero lämpötilakompensointi kompensoi myös mittaussignaalivirheet, jotka johtuvat ympäristön lämpötilan muutoksista. SmartPirani -mittaus, 2,3eE-5 mbar vs. ympäristön lämpötila

3 Luotettava ja kestävä releohjaus Kolmea itsenäistä puolijohdekytkinrelettä voidaan käyttää pumppujen, venttiilien, lukituspiirien ja muiden ulkoisten laitteiden ohjaamiseen. Perusohjauksessa käytetään päälle/pois -kytkentää ohjelmoitavalla raja-arvolla ja hystereesiarvolla. Kukin puolijohderele voidaan asettaa avautuvaksi tai sulkeutuvaksi. Sähkömekaanisiin releisiin verrattuna puolijohdereleet ovat luotettavampia ja nopeampia. Lisäksi niissä ei ole kaaria muodostavia koskettimia eivätkä ne luo sähkömagneettisia häiriöitä kytkeytyessään. SmartPirani -releet on suunniteltu kestämään ja ne ovat ULluetteloituja, CSA-tunnustettuja ja EN/EIC sertifioituja kriittisten tyhjiöprosessien ohjaamiseen ja syklittäiseen käyttöön. Analoginen jännitelähtö Analoginen lähtö voidaan määrittää S4-Connect :n tai RS232/RS485-liitännän avulla mihin tahansa skaalaukseen 0 0 V DC välillä. Analogilähdön skaalausominaisuuden avulla signaalia voidaan vahvistaa rajoitetun paineen alueella. Lisäksi on saatavilla laaja valikoima analogilähdön skaalausasetuksia eri valmistajien tyhjiömittareita ja -antureita varten. Mukautetut asetukset Anturi voidaan toimittaa mukautetulla konfiguraatiolla, joka sopii tiettyyn käyttötarkoitukseen. Esimerkkejä esimääritetyistä asetuksista ovat mittausalue, tyhjiön paineyksikkö, raja-arvo ja lähtösignaalin skaalaus. Mukautetut tuotteet merkitään yksilöllisellä tuotenumerolla, jotta niiden tilaaminen jatkossa on vaivatonta.

4 Käyttökohteet SmartPirani sopii moniin eri käyttötarkoituksiin, kuten forelinemittauksiin, massaspektrometreihin, skannauselektronimikroskooppeihin, pintakäsittelyyn ja kaasun täyttöön. Analytiikkalaitteet Massaspektrometrit ja skannauselektronimikroskoopit ovat analytiikkalaitteita, jotka käyttävät tyhjiöantureita ionilähteen turvallisen toiminnan varmistamiseksi. Tietyissä sovelluksissa SmartPirani poistaa tarpeen käyttää kalliita tyhjiön ionisaatiomittareita. Fyysinen höyrypinnoitus Materiaalien pinnoittamista fyysisellä höyrypinnoituksella käytetään monilla eri teollisuudenaloilla, kuten lääketieteellisissä, aurinko-, ajoneuvo-, työkalu-, optiikka- ja pakkausteollisuudessa. Metallipinnoitussovelluksissa sputterointiprosessi johtaa usein tyhjiölaitteiden hiukkassaastumiseen. Hiukkaset vaurioittavat tyhjiöantureita, mikä vaikuttaa mittaustehoon tai lyhentää anturin käyttöikää. SmartPirani on saatavilla puhdistettavalla hiukkaslevyllä, joka on suunniteltu erityisesti fyysiseen höyrypinnoittamiseen. Levyjärjestelmä pysäyttää hiukkaset ja varmistaa tyhjiökaasun riittävän korkean johtokyvyn sekä estää hiukkasten tukkeutumisen. Innovatiivinen levy voi pidentää huoltovälejä ja käyttöaikoja. Lisäksi tietyissä pinnoitussovelluksissa SmartPirani :n laaja alue poistaa tarpeen käyttää kylmäkatodityhjiöantureita pohjapaineen varmistamiseen. Siirry tyhjiöantureiden seuraavaan sukupolveen SmartPirani -sarjan tuotteet tarjoavat kytke-ja-käytä yhteensopivuuden muiden valmistajien tyhjiöantureiden ja - mittareiden kanssa. SmartPirani on saatavilla yhteensopivilla liittimillä, analogijännitteisellä painesignaalin emuloinnilla ja digitaalisen protokollan emuloinnilla. Emuloinnin avulla perinteinen johdollinen pirani-anturi, konvektioanturi ja vanha mikropiranianturi voidaan päivittää nopeasti ja vaivattomasti seuraavan sukupolven anturiin ilman kaapeleiden ja ohjelmiston vaihtamista. SmartPirani tarjoaa monissa sovelluksissa sekä kustannussäästöjä että parempaa mittaustehoa korvatessaan vanhoja tyhjiöantureita ja - mittareita.

5 Tekniset tiedot Tiedot Mittausalue, mbar mbar (7, Torr) Mittausperiaate mbar MEMS-pirani lämmönjohtava Mittausperiaate 5 8 mbar Yhdistetty MEMS-pirani / pietsolukema Mittausperiaate mbar Resistiivinen MEMS-pietsokalvo Tarkkuus 0-5 9, % lukemasta Tarkkuus 0-4 7,99 mbar 5 % lukemasta Tarkkuus 8,00 99,9 mbar % lukemasta Tarkkuus mbar 0,5 % lukemasta Tarkkuus mbar 0,25 % lukemasta Tarkkuus mbar 0,5 % lukemasta Hystereesi mbar (ISO 9685:207) % Hystereesi mbar (ISO 9685:207) 0, % Analogilähdön tarkkuus 6 bittiä (50 nv) Analogilähdön päivitysnopeus 200 Hz Vasteaika (ISO 9685:207) < 20 ms Lämpötilakompensaatio C Puolijohdereleen asetusarvo mbar (3, Torr) Puolijohdereleen nimellisarvot 50 V, 00 ma jatkuva / ma DC Puolijohdereleen hyväksynnät UL-hyväksyntä: File E76270 CSA-sertifioitu: Sertifikaatti EN/IEC sertifioitu Ympäristöolosuhteet Ympäristön lämpötila C Aineen lämpötila C Säilytyslämpötila C Hajoamislämpötila (ei toiminnassa) 20 C Aineen enimmäispaine 6 baaria absoluuttinen Asennusasento Vapaavalintainen Suojausluokka, EN 60529/A2:203 IP40 Kosteus, IEC %, tiivistymätön Virta Syöttöjännite 2 30 V DC Virrankulutus 240 mw (enintään) Käänteisen napaisuuden suojaus Kyllä Ylijännitesuojaus Kyllä Sisäinen sulake 00 ma (lämpöpalautuva) Materiaalit Kotelo SS.4404 / AISI 36 / ALU Tyhjiöprosessin laippa (kostutettu) SS.4404 / AISI 36 Tyhjiölle alttiit materiaalit (kostutettu) Ruostumaton teräs 36, Kovar, lasi, pii, nikkeli, alumiini, SiO 2, Si 3N 4, kulta, Viton, vähäisesti kaasua vapauttava epoksihartsi Prosessin tiiviys (ISO 27895:2009) < 0-9 mbar l/s Hyväksynnät EY EN , EN Painevesidirektiivi 97/23/EY RoHS-yhteensopivuus EU:n direktiivi 205/863 Tekniset tiedot voivat muuttua ilman erillistä ilmoitusta Viton on THE CHEMOURS COMPANY FC, LLC:n rekisteröimä tavaramerkki Tietoleh-

6 Liittimen kytkentäjärjestys 5-nastainen HD D-sub RS-232 / RS-485 Kuvaus RS-232 lähetys / RS-485 (-) 2 RS-232 vastaanotto / RS-485 (-) 3 Syöttöjännite 2 30 V DC 4 Syöttöjännite (paluu) 5 Analoginen jännitesignaali + 6 Analoginen jännitesignaali (paluu) 7 Rele NO (sulkeutuva kosketin) () 8 Rele yhteinen () 9 Rele NC (avautuva kosketin) () 0 Rele 2 NC (avautuva kosketin) () Rele 2 yhteinen () 2 Rele 2 NO (sulkeutuva kosketin) () 3 Rele 3 NO (sulkeutuva kosketin) () 4 Rele 3 yhteinen () 5 Rele 3 NO (sulkeutuva kosketin) () () Valinnainen rele 9-nastainen D-sub RS-232 / RS-485 Kuvaus RS-232 lähetys / RS-485 (-) 2 RS-232 vastaanotto / RS-485 (-) 3 Syöttöjännite 2 30 V DC 4 Syöttöjännite (paluu) 5 Analoginen jännitesignaali + 6 Analoginen jännitesignaali (paluu) 7 Rele NO (sulkeutuva kosketin) () 8 Rele yhteinen () 9 Rele NC (avautuva kosketin) () () Valinnainen rele 6-nastainen Hirschmann-liitin Nasta Nasta Nasta Kuvaus Tunnistusvastus (3K) 2 Analoginen jännitesignaali + 3 Analoginen jännitesignaali (paluu) 4 Syöttöjännite 2 30 V DC 5 Syöttöjännite (paluu) 6 Kotelo

7 8-nastainen RJ45 / 8P8C Nasta Kuvaus Syöttöjännite 2 30 V DC 2 Syöttöjännite (paluu) 3 Analoginen paineen jännitesignaali + 4 Tunnistusvastus 5 Analoginen paineen jännitesignaali (paluu) 6 Rele NO (sulkeutuva kosketin) () 7 Ei kytketty 8 Ei kytketty () Valinnainen rele Mitat Kaikki mitat millimetreissä.

8 Tilausohje Liitin Tyhjiölaippa 9-nastainen D-SUB uros DN6KF nastainen HD D-SUB uros DN25KF nastainen HD D-SUB uros / kaksois-analogilähtö NPT /8" nastainen Hirschmann, ID-vastus 3K VCR nastainen Hirschmann, ID-vastus 5.K DN6KF Laajennettu nastainen Hirschmann, ID-vastus 9.K/.K DN6KF kevyellä levyllä 7 8-nastainen RJ45 / FCC68, ID 27K DN6KF kestävällä levyllä nastainen RJ45 / FCC68, ID 36K 9 8-nastainen RJ45 / FCC68, ID 43K Digitaaliliitäntä RS232 / S4-Connect Asetusarvot / Näyttö RS485 / S4-Connect 2 0 Ei S4-Connect 3 x puolijohderele 2 2x puolijohderelettä Analogilähtö 3 3x puolijohderelettä 0,5 9,5 ( V/dec) 0,0 9VDC VDC/Dec (MKS 90P/925/90) 0 2 Laite 0,375 5,659 VDC (MKS GP275) 0 3 Torr 0,5 VDC (MKS 523) mbar,9 0 VDC (Inficon PSG55x, Leybold TTR9) Pascal,5 8,5 VDC (Pfeiffer TPR260/27x/28x) 0 6,9 9, VDC Edwards APG00XLC 0 7,9 9, VDC (Edwards APG00XM) VDC 0, Torr FS kapasitanssipainemittari 0 0 0VDC Torr FS kapasitanssipainemittari 0 0VDC 0 Torr FS kapasitanssipainemittari 2 0 0VDC 00 Torr kapasitanssipainemittari 3 0 0VDC 000 Torr kapasitanssipainemittari 4 Muita analogilähtöjä on saatavilla pyynnöstä 3 2 Tarvikkeet Ohjelmointilaite S4-Connect -ohjelmointilaite USB, 5-nastainen D-sub-liitin S4-Connect -ohjelmointilaite USB, 9-nastainen D-sub-liitin S4-Connect -ohjelmointilaite USB, 8-nastainen RJ45/8P8C S4-Connect -ohjelmointilaite USB, 6-nastainen Hir-schmann Kalibrointitodistus Akkreditoitu kalibrointisertifikaatti DAkkS Lab. PRG-S4-5DS-0 PRG-S4-9DS-0 PRG-S4-RJ45-0 PRG-S4-HM-0 CAL-VPM5-DAKSS Tietoja Sens4 kehittää, valmistaa, markkinoi ja toimittaa tyhjiön, paineen ja lämpötilan mittauslaitteita teollisuuden käyttöön maailmanlaajuisesti. Tuotteemme on suunniteltu ja valmistettu Tanskassa korkeimpien laatuvaatimusten mukaisesti. Tavoitteemme on tarjota asiakaskeskeisiä huipputeknisiä mittausratkaisuja. Our passion Your value Copyright 209, Sens4 A/S Versio: A, helmikuu 209