fotoelektronidiraktiomittauksiavarten Mittausj rjestelynrakentaminen IiroA.K.Jantunen 10.kes kuuta1999
Sis lt 1Johdanto 2Laitteisto 1.1XPSjaXPD...44 3Ohjelmakehitys 2.1Laitteistonuudetosat...5 2.1.1Moottoroituk nt laippa...5 2.1.2Ohjauslaatikko...6 5 3.3XPDaliohjelmat...9 3.2Yleisetmuuttujatjavakiot...8 3.1Ohjelmanuudetosat...7 3.3.2step...11 3.3.1xpd_menu...9 6 3.3.6let_stepmotor_contr...14 3.3.8if_yY...14 3.3.5let_stepmotor_free...14 3.3.7emergency_break...14 3.3.4stepper_status...13 3.3.3initialize_stepmotor...13 3.3.10save_xpd_set...14 3.3.9load_xpd_set...14 Viitteet 4Pohdinnat AOhjauslaatikonkytkent kaavio 3.3.11save_anglele...14 16 17 15 2
Kuvat 6XPS/XPD-mittausohjelmantoiminta...10 5XPD:nohjauslaatikko...9 4Uusik nt laippa[3]...8 2Esimerkkir ntgenfotoelektronidiraktiospektrist [2]...6 3XPD-mittauslaitteisto...7 1Esimerkkir ntgenfotoelektronispektrist...5 Taulukot 9EsimerkkiXPD-mittauksenasetuksista...15 8XPD-valikkotietokoneenkuvaruudulla...13 7Esimerkkiotsikkotiedostosta...11 4Aliohjelmattiedostossaxpd.pas...12 3Askelmoottorinkomentokoodit...12 2Yleisetvakiot...11 1Yleisetmuuttujat...9 3
r ntgenfotoelektronispektroskopian(xps)menetelmin. tronispektroskopian(aes),matalaenergistenelektroniendiraktion(leed)ja inte naineenpinnanominaisuuksia,pintarakenteitajaadsorbaattienkiinnit- tymist aineenpintaan.tutkimustatehd nt ll hetkell l hinn augerelek- 1Johdanto my salkuaineidenkemiallisestatilasta. R ntgenfotoelektronispektrionr ntgens teilyll pinnanatomeistairroitettujen elektronienenergiaspektri.sekertoopintakerroksenalkuainekoostumuksensek TeknillisenKorkeakoulunFysiikanlaboratorionPintatutkimusryhm tutkiiki- tarvitsemmediraktioonperustuvanmenetelm n.pintaherk ksimenetelm ksisopisiesimerkiksir ntgenfotoelektronidiraktio(xpd).t ss menetelm ss mitataanpinnastairtoavar ntgenher tteinenelektronispektrieril ht kulmilla. XPSeikerromit nadsorptiomolekyylienasennoista.t m nselvitt miseksi mahdollistaessan ytteenk nt misen.k sinn ytett k nt m ll tapahtuva erikulmienmittauskuluttaakohtuuttomastiaikaa.jottamittauksiap st i- Laboratoriossaontehtykokeitaerikulmillaennenkink sink nnett v nlaipan Tutkittaessakiinte naineenpintaatarvitaanhiukkasia,jotkajokosiroavataivan siintekem nenemm njatehokkaammin,tarvitaanvanhaantietokoneenxps- mittausohjelmaanlis yksi,joidenavullaohjelmatekeespektrimittaukseneri uloimmistaatomikerroksistataisitteneiv tsyvemm lt p sepintaan.10-100 tokoneellaohjattavissaolevallamoottorillavarustettuk nt laippa. evenergiaisetelekronitovatt llaisiahiukkasia[1].altistamallapintar ntgen- kulmillaautomaattisesti.k sink ytett v nlaipantilalletarvitaansamallatie- 1.1XPSjaXPD roksilta,jotensyvemm lt aineestatulevainformaatioeih iritsepintatutkimus- R ntgenfotoelektronispektri-elixps-mittaustapahtuusiten,ett r ntgens teis teilylle,saadaanelektronejairroitettuaatomientaimolekyylienerienergiatasoilta.n it elektronejap seepintaanvainaivanp llimm isilt atomiker- kulmiinsironneitaelektroneja.tuloksenasaadaanspektrierikulmilla(kuva2).koskar ntgentykkijapuolipalloanalysaattoriovatyleens kiinte ostoria. mittauskammiota,saadaant m helpoimminaikaank ntelem ll n ytett. t n ytett k nnet n,jolloinenergia-analysaattoriinsaapuuvuorotelleneri lyll irroitetaanpinnastaelektronejajaanalysoidaanirronneidenelektroniene- nergiaspektri(kuva1).t h nvoidaank ytt esimerkiksipuolipalloanalysaat- samitattujenelektronienl ht kulmamateriaalinpinnastamuuttuu.xps-ja XPD-mittausonsiisperiaatteessamoneenkertaansuoritettuXPSmittaus,jos- XPD-mittauslaitteistoonesiteltykuvassa3. R ntgenfotoelektronidiraktio-elixpd-mittauspoikkeaaedellisest siten,et- XPD-mittauksentuloksenasaatavasironneidenelektronienkulma-jaenergiajakaumakertovataineenpintarakenteengeometriasta.EsimerkiksiadsorptiomolekyylinasentopinnallavaikuttaaXPD-spektriin,toisinkuinXPS:ntapauksessa. 4
20000 15000 2Laitteisto 10000 Alkuper inenmittauslaitteistokoostuuuhv-tyhji kammiosta,ioni-jaturbopumpuista,r ntgenl hteest,puolipallo-analysaattorista(energia),elektronity- Kuva1:Esimerkkir ntgenfotoelektronispektrist 5000 tiintarkoitetuistav lineist.n ist t rkeint m nty nkannaltaonpy riv kist,leed-laitteista,ohjauslaitteistostasek erilaisistan ytteenmanipuloin- laippa,johonn yteonkiinnitetty. 0 0 500 1000 2.1Laitteistonuudetosat energia / ev I/O-portistajaverkkovirtajohto.Ohjauslaatikostaontaasjohdinyhteysaskelmoottoriin. 2.1.1Moottoroituk nt laippa LaitteistostavaihdettiinXPD-mittauksiavartenn ytteenk nt laippauuteen askelmoottorillavarustettuun.ohjauslaatikkoontuleelattakaapelitietokoneen p seevarsinaiseentyhji kammioonkontaminoimaantutkittavaan ytett. k ntyess ilmaap seeliukuvastasaumastal pijan m kaksiv livaihettaimev tmahdollisimmansuurenosanl pip sseest ilmastaennenkuinslinentilaonjaettukahteenosaan.n m osatkytket nilmapumppuun,jolloinulkoilmanjatyhji nv liinsaadaanerillisestityhj n pidett v tila.laipan valmiinapakkauksena.laitekostuuperiaatteessakahdestalaipasta,joidenv - Uusik nt laippa,tyyppi ThermionicsRNN-400/MS(Kuva4),hankittiin 5 n
2.1.2Ohjauslaatikko Jottatietokonesaataisiinohjaamaanmittaustoimintaa,hankittiinmittaustietokoneenainoaanvapaanaolleeseenkorttipaikkaan24-bittinenIO-kortti.T m korttil hett bin risi komentojaohjauslaatikossasijaitsevallekontrollerille, Kuva2:Esimerkkir ntgenfotoelektronidiraktiospektrist [2] jokaohjaaniidenmukaanmoottoria.ohjauslaatikkoontuleelattakaapelitietokoneeni/o-portistajaverkkovirtajohto.ohjauslaatikostaontaasjohdinyhteysaskelmoottoriin. Ohjauslaatikossa(Kuva5,kytkent kaavioliitteess A)onkaksimuuntajaa,joillaverkkovirranj nnitelasketaankontrollerinkahdellevaatimalletasolle:+15 -+24Vlogiikalleja+12-+36Vmoottorille.KumpikinvaihtovirtatasasuunnataanWheatstonensilloillajatasoitetaankondensaattorilla.Maatasoonn ille tasavirroilleyhteinen. Tietokoneenk skytsaapuvatpaikanp ll rakennettuunelektroniikkakorttiin. jaj nnitetietokoneenk ytt m st.eristysontoteutettukahdellatexasinstrumentstil196-optoeristimell.kumpikineristinsis lt nelj kanavaa,jotka Kortintarkoituksenaonerist optisestikontrollerink ytt m vahvempivirta TurboPascal4.0-editorilla.Tekij,TkTJukkaVaari,oliapunamuutost is- onjaoteltusiten,ett viisikanavaasy tt tietoatietokoneeltakontrollerilleja kolmepalauttaa. 3Ohjelmakehitys VanhaXPS-mittausohjelmaontehtyvuonna1990pascal-ohjelmointikielell 6
Kääntölaippa Tyhjiökammio Puolipalloanalysaattori elektroniikka XPS- 0000000000 0000000000 1111111111 1111111111 00000 11111 00 00 00 00 00 11 11 11 11 11 Mittaus-PC Näyte Virtalähde Röntgenlähde Askelmoottori Askelmoottorin ohjauslaatikko Kuva3:XPD-mittauslaitteisto s neuvoentarvittaessavanhanmittausohjelmantoimintaa. Mittausohjelmank ytt liittym ontekstipohjainenvalikkoj rjestelm.t m on yksinkertaistatoteuttaa,muttak ytt onsiltihelppoa.k ytt liittym p tettiins ilytt samana. P valikkoonlis sinnumeroksi8`xpdoptions',jonkaallekeskitinxpd:nk ytt nliittyv tkomennot. 3.1Ohjelmanuudetosat Ohjelmaantehdyist lis yksist p osaonxpd.pas-nimisess tiedostossa.t m tiedostomuodostaa`unitxpd'-osion,jostamuutohjelmanosiothakevatohjelmaak nnett ess aliohjelmansa. Lis ksimerkitt vi muutoksiaontehtyglobaalitmuuttujatjavakiotsis lt v n sca_glbs.pas-tiedostoon.vanhastaosastaohjelmaajouduinmuuttamaan l hinn tiedostoasca_surv.pas,jokasis lt varsinaisenmittausaliohjelman. Koskakyseess onperiaatteessavanhanohjelmantyyppisenmittauksentoistaminenkulmaneriarvoilla,lis sinmittausosanymp rillerepeat-lausekkeen. Ohjelmanuusienosientoimintakaavioonesiteltykuvassa6. T ss lausekkeessaindeksin toimiicur_step,jokak yl piarvot0-n,miss naskeltenm r.ensimm inenmittaustehd nennenaskelmoottorink nt mist.joskyseess onvainnormaalinxps-mittauksenteko,annetaanvakiolle cur_steparvoksi1. Lis ksijokaisellamittauskierroksellatalletetaankovalevyllemitattudata.t m tapahtuuxpd-valikossaannetullatiedostonimell lis tensenloppuunindeksi. Lis ksitalletetaanotsikkotiedosto(kuva7),jossaesitet nmittauksentiedot. 7
Tuloksienjatkok sittelytehd njokotarkoitukseenerikseenteht v ll skriptohjelmallataitaulukkolaskentaohjelmalla. 3.2Yleisetmuuttujatjavakiot Kuva4:Uusik nt laippa[3] Yleisetmuuttujatjavakiotsis lt v nsca_glbs.pas-tiedostoonteinmerkit- moottorinliikkumaanjokopuoliaskelintaikokonaisin0.8asteenaskelin- Heksadesimaaliluvutont ss merkitty(kutenpascalissa)$-merkill.komentonumerot(taulukko3)toimivatsiten,ett bin riluvuiksimuutettunaneantavat v liss.1-bittim r suunnan(1=taakse,0=eteen).2-bittitaasm r maanlis ttiinyleisi vakioita,jotkaonesitettytaulukossa2. portineribitteihin1/0-arvon. 0-bittiinsy tetty1siirt moottoriaaskeleen(pulssi),0taastarvitaanpulssien t vi muutoksia.uudetyleisetmuuttujatonesiteltytaulukossa1.lis ksiohjel- bitilleannettuarvo1vapauttaaaskelmoottorin,jolloinn ytett voidaank nt k sin.4-bittiinannettu1alustaakontrollerin,mik ontarpeenkontrollerin puoliaskeliaeit ss sovellutuksessak ytet,netulisitahdistaaerikseen.3- k ynnist miseksialussa. 8
ON/OFF KYTKIN 230V PISTORASIA OHJAUSKORTTI KONDENSAATTORI 1 PUN PUN ELEKTRONIIKKAKORTTI PROPPU PUN OPTOERISTÄÄ TIETOKONEEN PUN ASKELMOOTTORIN OHJAUS- JA TYÖVIRRASTA SIN MUS muuttuja SIN MUS SIN beginn_anglerealmittauksenaloituskulma PROPPU target_anglerealkulma,johonollaansiirtym ss PUN 000000000000 111111111111 cur_angle Kuva5:XPD:nohjauslaatikko 000000000000 111111111111 000000000000 111111111111 000000000000 111111111111 step_angle 000000000000 111111111111 000000000000 111111111111 xpd_steps yes_xpd tyyppiselitys Taulukko1:Yleisetmuuttujat VAL VAL cur_step realnykyinenkulma realkulma/askel integeraskeltenm r XPD-mittauksessa booleantehd nk XPD? VPU SIN PUN xpd_contr_freebooleanonkoaskelmoottorivapautettu? integernykyisenkulmanindeksi TIETOKONE 3.3XPDaliohjelmat Uudetaliohjelmatonsijoitettutiedostoonxpd.pasjaesiteltytaulukossa4. out_name_xpdstringtulostustiedostonnimi initial_xpd call booleanollaankoensikertaavalikossa? booleankutsuukomenu? t envoitehd haluamansavalinnat.9 3.3.1xpd_menu Aliohjelmaxpd_menutulostaan yt llevalikon,jostanumeron pp imi k yt- MUUNTAJA 1 KONDENSAATTORI 2 MUUNTAJA 2
MAIN MENU 1 2 3 4 5 6 7 8 e XPD OPTIONS 1 2 3 4 5 6 7 8 9 S L 0 ASK BEGINNING ANGLE Kuva6:XPS/XPD-mittausohjelmantoiminta SURV MENU 1 2 3 4 5 6 7 8 9 R C M 0 seenjokakerrankunvalikkoavataan. Valikkoohjaamuidenaliohjelmientoimintaavalintojenmukaan. tosta c:nxpdnsetnxpd.set.t m siksi,etteiv tvalikkoarvotp ivittyisioletusarvoik- ACQUIRE N Valinta6(askelmoottorivapaalla/kiinni)vaihtaamuuttujanxpd_contr_free ensikertaaxpd-mittausohjelmaaajettaessa.t ll inhaetaanoletusarvottiedos- Ensit ikseenaliohjelmahakeelevylt oletusarvotk ytt ensiihenaliohjelmaa load_xpd_set(kappale3.3.9).t m aliohjelmatestaaavataankovalikko YES arvontosi!ep TOSItaiEP TOSI!TOSI.ArvoTOSItarkoittaasit, XPD? NO loinmoottoripit n ytett paikallaan. moottorinkahvasta.arvollaep TOSIantaakontrollerivirtaamoottorille,jol- ett kontrollerieiannamoottorillevirtaa,jolloinn ytett voik nt k sin 10 ASK ANGLE/STEP ASK N OF STEPS ACTIVATE XPD INIT STEP MOTOR FREE CONTROL ASK CURRENT ANGLE GOTO BEGINNING ANGLE ASK OUTPUT FILE SAVE XPD SETTINGS LOAD XPD SETTINGS RETURN TO MAIN MENU
vakio Beginning angle: 3.9999999863E-03 Angle per step: 1.0000000000E+ step_port Number of steps: 3 status_portkuva7:esimerkkiotsikkotiedostosta File group name: test File #0: test0.fit,angle -10.0 IO_control_portinteger$2c3IO-kortinohjausportti File #1: test1.fit,angle 0.0 a_out_b_in Taulukko2:Yleisetvakiot File #2: test2.fit,angle 10.0 tyyppiarvoselitys integer$2c0askelmoottorinkontrolleriin integer$2c1askelmoottorinkontrollerinstatusportinosoite viev nportinosoite integer$82porttiaoutput,porttibinput File #3: integer1 test3.fit,angle 20.0 step_forw_bf step_bckw_bfinteger2 step_free step_controlledinteger0 reset_stepper integer3 integer8 ka komento:askeleteenp in,v liai- turn_per_stepreal0.8vakio:yhdenaskeleenpituus integer16komento:alustaaskelmoottorin kontrolleri komento:askeltaaksep in,v liai- komento:askelmoottorivapaalle komento:askelmoottorikiinni 3.3.2step Aliohjelmastep(length:real)siirt askelmoottorillan ytett kulman lengthverran.kulmavoiollajokonegatiivinentaipositiivinen. asteina jakamallaseyhdenaskeleenkulmallajapy rist m ll kokonaisluvuksi.t m aiheuttaasen,etteikulmansiirtooleaivantarkka:yhdenaskeleenkulmaon (Kappale3.3.3).Annettukulmamuutetaanaskelmoottorinaskeltenm r ksi 0.8astetta. Ensiksialiohjelmaalustaakontrollerinaliohjelmallainitialize_stepmotor 11
komento askeleteenp in,v liaika askeltaaksep in,v liaika askelmoottorivapaalle Taulukko3:Askelmoottorinkomentokoodit alustaaskelmoottorinkon-nobitrolleri 160 31 80 go/-bw/fwh/ff/nfdo/- 1 0 000 0 0 00 11 20 0 234 bittienmerkitys tyyppinimi procedurexpd_menu procedurestep(length) procedureinitialize_stepmotoraskelmoottorinalustus procedurestepper_status procedurelet_stepmotor_freeaskelmoottorinvapautus3.3.5 procedurelet_stepmotor_contraskelmoottorikontrolloitu3.3.6 Taulukko4:Aliohjelmattiedostossaxpd.pas procedureemergency_breakpikasulku selite XPD:nvalikko n ytteenk nt askelmoottorinstatus 3.3.1 esittely functionif_yy(text) procedureload_xpd_set 3.3.2 proceduresave_xpd_set testikyll /eikysymyksiin3.3.8 XPD-asetustenhakulevylt 3.3.9 3.3.3 3.3.4 proceduresave_anglele XPD-asetustentallennus otsikkotiedostontallennus3.3.11 levylle 3.3.7 3.3.10 12
XPD STEP OPTIONS 1 Beginning angle (deg) 135.0 2 Angle / step (deg) 5.0 3 Number of steps 20 4 XPD active TRUE 5 Initialize control 6 Free control - manual turn FALSE 7 Current angle 110.0 trollerin.24-bittineni/o-porttialustetaansiten,ett porttiatoimiioutput- Aliohjelmainitialize_stepmotoralustaaI/O-kortinjaaskelmoottorinkon- 8 Go to beginning angle porttina(komennot)japorttibinput-porttina(status).askelmoottorinkon- trolleritaasalustetaanyhdenbitinkomennollaa-portinpinniin4. 3.3.3initialize_stepmotor Kuva8:XPD-valikkotietokoneenkuvaruudulla 9 Set output filename test s Save these settings Alustaminenonv ltt m t ntoimenpide,kunvirtaonkytkettyaskelmoottorin l Load new settings ohjauslaatikkoon. 0 Return to menu mallai/o-kortinb-porttia(status).kontrollerillaonkaksistatus-ulostuloa, 3.3.4stepper_status Aliohjelmastepper_statustarkistaaaskelmoottorinkontrollerintilanluke- joissaj nnitteenp ll olomerkitseeloogistaarvoatosi.n m ulostuloton kytke s hk tpoisjaantaakontrollerinj hty rauhassa. merkkej javaroituksia.t ss tilanteessatulisiaskelmoottorinohjauslaatikosta kytkettyi/o-kortininput-porttiin(b),ylikuormituspinniin1(arvo2)jaylikuumeneminenpinniin0(arvo1). Joskontrollerivaroittaaylikuumenemisestatai-kuormituksesta,n yt lletugency_break,kappale3.3.7)vapauttaenaskelmoottorinjaantaenlis nilostuuvaroitus,ohjelmaantaaviisi nimerkki jakeskeytt ty nteon(emer- 13
l ins hk virtaaeikuljemoottoriineik moottoripid n ytett paikallaan.lait- 3.3.5let_stepmotor_free Aliohjelmalet_stepmotor_freevapauttaaaskelmoottorinkontrollista.T lteistonkitkakyll kinest n ytett k ntym st itsest n.vapautettuaaskelmoottoriavoikahvastak nt k sinjasitens t haluttuunpaikkaan. seonhyvinty l st eik niinpit isitehd. liin.s hk virtaakuluujaaskelmoottoripit n ytett paikallaanvarsinsuurella voimalla.n ytett onmahdollistak nt askelmoottorinkahvastak sin,mutta Aliohjelmalet_stepmotor_controttaaaskelmoottorintakaisinkontrol- 3.3.7emergency_break 3.3.6let_stepmotor_contr Aliohjelmaemergency_breakvapauttaaaskelmoottorinkontrollista,kehotjaintaytaiY.PalautteenaTOSI,josytaiYl ytyy,muutoinep TOSI.T t 3.3.8if_yY Aliohjelmaif_yY(text:string)tarkistaa,onkoannetussamerkkijonossakirtaak ytt j sammuttamaanohjauslaatikonjaantaanopeastikymmenenper kk ist nimerkki.aliohjelmaakutsutaan,josstepper_status(kappale 3.3.4)saatulokseksikontrollerinolevanylikuumennuttai-kuormittunut. aliohjelmaak ytet nk ytt j nsy tteentarkistamiseenkyll /ei-kysymyksiss. ohjelmaajament ess ensikertaaxpd-valikkoon,k ytet nt t aliohjelmaa TOSI. oletusarvojenhakemiseen.t ll inyleinenmuuttujainitial_xpdonarvoltaan tukset.t m voidaantehd valitsemallaxpd-valikosta`l'.k ynnistett ess 3.3.9load_xpd_set 3.3.10save_xpd_set Aliohjelmaload_xpd_sethakeelevylt aikaisemmintalletetutxpd:nase- tietynmuutujanarvo(kuva9). 3.3.11save_anglele Aliohjelmasave_anglefiletallettaalevylleXPD-tulostiedostojenotsikkotiedoston(Kuva7).Otsikkotiedostostal ytyyaloituskulma,erikulmillamitatun Aliohjelmasave_xpd_settallettaalevylleXPD:nasetuksetmy hemminhaettavaksi.asetuksettalletetaanascii-merkkein siten,ett kullakinrivill on datantiedostonimet,p iv m r yms.14
MERKITYS: -9.9996000000E+00 beginn_angle = -10 tusvaiheessaont rke toisaaltakoskarakentajateiv toleloputtomiinpaikalla 4Pohdinnat Tutkimuslaitteidenjaniit ohjaavienohjelmienriitt v dokumentointivalmis- Kuva9:EsimerkkiXPD-mittauksenasetuksista 1.0000000000E+ step_angle = 10 (taiohjelmak nt jien)ohjekirjojens ilytt minenont rke samastasyyst. 3 xpd_steps = 3 10vuodenkuluttuaohjelmank nt mist eiv ltt m tt osaakukaankuinonnella. jatoisaaltakoskaedestekij eimuistakaikkea.ostettujenlaitteiden,ohjelmien 1 yes_xpd = TRUE 1 xpd_contr_free = TRUE Ohjelmanheikkokohtaonmoottorinaskelluksentahdistus.Sen ytt olevan 9.9996000000E+ cur_angle = 100 arvotjak nt m ll ohjelmauudelleen.t m eioleyksinkertaista,jotenon pyritt v ajamaanohjelmaaainamahdollisimmansamassatilassaesimerkiksi herkk tietokoneentoimintanopeuteenvaikuttavilletekij ille:oheislaitteille,aje- k ynnist m ll tietokoneuudelleenennenohjelmanajoa. tettavaaliohjelmanstepfor-lauseetuudelleenm r m ll indekseilleuudet tuillemuilleohjelmillejak ytt j rjestelm nasetuksille.huonoaskellusonhel- postihavaittavissametelin,jaonep tarkkaa.asiankorjaamiseksiontahdis- 15
2200 µ F 16 SULAKE ASKELMOOTTORIN OHJAUSKORTTI PVP 2435 28ac 2ac 30-32 14c 14a 16a 18a 16c DC +15V - +24V 0V DC +12V - +36V 4ac 6ac 8ac 10ac 20c 20a 12c 26c 1 kohm 00 11 1 kohm 1 kohm +5 V ASKELMOOTTORI AOhjauslaatikonkytkent kaavio 4700 µ F SULAKE 392 Ohm 392 Ohm 392 Ohm 392 Ohm 392 Ohm 10 kohm 10 kohm 10 kohm A0 A1 A2 A3 A4 B0 B1 PORTTI A PORTTI B 230 V TIETOKONE
Viitteet [1]H.L th,surfacesandinterfacesofsolidmaterials(springer,berlin,1995), [4]K-H.Rollke,TurboPascal(Amersoft,Espoo,1986). [2]J.Vaari,J.Lahtinen,T.Vaara,andP.Hautoj rvi,anxpdandissstudy [3]InsturctionManual:RNNSeriesDierentiallyPumpedRotarySeals 346,(1996),7. 156. ofthe(22)-(co+k)coadsorptionstructureonco(00),surf.sci. (ThermionicsNorthwest,Inc.,PortTownsend,1990). 17